Zintegrowany miernik grubości i gęstości powierzchniowej CDM

Aplikacje

Proces powlekania: wykrywanie on-line drobnych cech elektrody; typowe drobne cechy elektrody: brak upływu prądu z kolektora, niewielka różnica szarości w stosunku do normalnego obszaru powłoki, brak identyfikacji CCD, zarysowanie, kontur grubości obszaru przerzedzenia, wykrywanie grubości AT9 itp.

Wyślij do nas e-mail

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Zasady pomiaru

Zasady pomiaru gęstości powierzchniowej

Metoda absorpcji promieni X/β

Zasady pomiaru grubości

Korelacja i triangulacja laserowa

Charakterystyka badań technicznych CDM

Scenariusz 1: Na powierzchni elektrody występuje przerwa/ubytek o szerokości 2 mm, a jedna krawędź jest grubsza (niebieska linia, jak pokazano poniżej). Gdy plamka promienia ma 40 mm, wpływ zmierzonego kształtu oryginalnych danych (pomarańczowa linia, jak pokazano poniżej) wydaje się wyraźnie mniejszy.

Scenariusz 2: dane profilowe obszaru dynamicznego przerzedzania, szerokość danych 0,1 mm

Funkcje oprogramowania

Parametry techniczne

Nazwa	Indeksy
Prędkość skanowania	0-18 m/min
Częstotliwość próbkowania	Gęstość powierzchni: 200 kHz; grubość: 50 kHz
Zakres pomiaru gęstości powierzchniowej	Gęstość powierzchniowa: 10~1000 g/m²; grubość: 0~3000 μm;
Powtarzanie pomiaru dokładność	Gęstość powierzchniowa: Całka 16s: ±2σ: ≤±wartość prawdziwa * 0,2‰ lub ±0,06g/m²; ±3σ:≤±wartość prawdziwa * 0,25‰ lub +0,08g/m²; Całka 4s: ±2σ: ≤±wartość prawdziwa * 0,4‰ lub ±0,12g/m²; ±3σ: ≤±wartość prawdziwa * 0,6‰ lub ±0,18g/m²;Grubość: Strefa 10 mm:±3σ: ≤±0,3μm; Strefa 1 mm: ±3σ: ≤±0,5μm; Strefa 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8μm;
Korelacja R2	Gęstość powierzchniowa >99%; grubość >98%;
Punkt laserowy	25*1400μm
Klasa ochrony przed promieniowaniem	Krajowa norma bezpieczeństwa GB 18871-2002 (zwolnienie z obowiązku stosowania promieniowania)
Okres użytkowania materiałów radioaktywnych źródło	Promieniowanie β: 10,7 lat (okres półtrwania Kr85); promieniowanie rentgenowskie: > 5 lat
Czas reakcji pomiaru	Gęstość powierzchni < 1 ms; grubość < 0,1 ms;
Całkowita moc	<3 kW